硅微型传感器——医用传感器的新方向

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在当代医疗技术中,往往需要采用吞服或植入的办法将传感器输入人体内,以测量诸如血压、心跳等动态参数的变化。能满足这种要求的传感器,第一要小型、可靠;第二要与生物兼容;第三要有不受体内流质影响的良好密封。当代微电子技术,具备了解决这些问题的必要条件。采用硅单晶片以及硅集成电路的微细加工技术,业已制出各种小巧玲珑的传感器,有 In modern medical technology, it is often necessary to input sensors into the human body by swallowing or implanting to measure changes in dynamic parameters such as blood pressure and heart rate. To meet this requirement, the sensor, the first small and reliable; the second to be compatible with biological; the third to have a good seal from the impact of fluid in the body. Contemporary microelectronics technology, with the necessary conditions to solve these problems. Using single-chip silicon and silicon integrated circuit micro-processing technology, has made a variety of small and exquisite sensors, there
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