论文部分内容阅读
以热蒸发工艺制备微结构可控的自支撑Ａｌ平面薄膜靶。该靶用于惯性约束聚变（ＩＣＦ）精密化分解实验，研究驱动激光光束不均匀性对瑞利－泰勒流体不稳定性的影响，以卢瑟福背散射（ＲＢＳ）俄歇电子能谱（ＡＥＳ），扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和α－ｓｔｅｐ５００台阶仪测量Ａｌ薄膜靶的靶参数，Ａｌ膜厚度为微米量级，表面稳定的氧化层厚度约为７ｎｍ，膜密度为２．３１２ｇ·ｃｍ＾－１，颗粒度０．１μｍ，表面粗糙度平均值为５