【摘 要】
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探索了电化学法刻蚀扫描隧道显微镜(STM)显微针尖的工艺条件,考察了钨丝针尖的表面状况以及整体形貌,获得了制备具有理想纵横比针尖的最佳工艺条件。当刻蚀电压为5 V,钨丝浸
【机 构】
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金陵科技学院材料工程学院,江苏第二师范学院生命科学与化学化工学院
【基金项目】
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国家自然科学基金(21303001),安徽省自然科学基金(1708085MB42),安徽省教育厅自然科学基金重点项目(KJ2015A169),金陵科技学院博士科研启动基金(jit-b-201903)。
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探索了电化学法刻蚀扫描隧道显微镜(STM)显微针尖的工艺条件,考察了钨丝针尖的表面状况以及整体形貌,获得了制备具有理想纵横比针尖的最佳工艺条件。当刻蚀电压为5 V,钨丝浸入深度为2 mm,刻蚀溶液浓度为2 mol·L-1时,可得到具有理想纵横比的针尖。进一步以针尖的尖高、倾斜角、偏轴心、半径、锥角以及刻蚀电流平滑性为指标,考察了最佳工艺的稳定性。结果表明,最佳工艺条件下制备的钨丝针尖品质稳定,偏差小,重复性高。研究结果为我国高精度高分辨率STM工业化量产提供了数据支撑。
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