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提出了一种新型结构的硅微热致动泵,对该泵相关的微机械关加工工艺进行了综述分析和试验研究.
硅微热致动泵的关键加工工艺
【摘 要】
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提出了一种新型结构的硅微热致动泵,对该泵相关的微机械关加工工艺进行了综述分析和试验研究.
【机 构】
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精华大学精密仪器与机械学系,北京,100084电子部第十三研究所;
【出 处】
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机械工程学报
【发表日期】
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1999年1期
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