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高纯六氟化硫是我国科研、生产等许多部门急需的特种气体，在半导体工业中用于等离子蚀刻工艺，在光导纤维制造中用作隔离层掺杂剂。高纯六氟化硫还是重要的激光材料，在其它领域也有重要用途。过去，我国使用的高纯六氟化硫全部依赖进口。
高纯六氟化硫研制成功
【摘 要】
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高纯六氟化硫是我国科研、生产等许多部门急需的特种气体，在半导体工业中用于等离子蚀刻工艺，在光导纤维制造中用作隔离层掺杂剂。高纯六氟化硫还是重要的激光材料，在其它领域也
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1987年4期
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