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磁控溅射镀膜技术是一种广泛应用的沉积镀膜方法，其设备和工艺的成熟促成了工业化生产的局面。但其在稳定、控制运行仍有相当大的需求空间。本文根据自己长年在设备安装、调试、维护的经验，对磁控溅射镀膜、镀膜工艺流程特别是镀膜技术中膜厚控制有详细的体会。
磁控溅射镀膜及膜厚控制研究
【摘 要】
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磁控溅射镀膜技术是一种广泛应用的沉积镀膜方法，其设备和工艺的成熟促成了工业化生产的局面。但其在稳定、控制运行仍有相当大的需求空间。本文根据自己长年在设备安装、调试
【机 构】
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爱发科商贸上海有限公司
【出 处】
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中国科技纵横
【发表日期】
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2013年16期
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