He-Ne激光陀螺仪真空铟封结构应力分析与工艺优化

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shenzhixian
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氦氖激光陀螺仪电极封接是维持其微晶玻璃谐振腔体真空环境的关键技术之一。研究分析了氦氖激光陀螺仪经典铟封接结构特点及电极铟封性能,应用弹塑性力学理论建立铟封结构的物理和数学模型。数值计算了铟封结构残余应力,得到了不同物性参数的残余应力变化规律,分析了铟丝环直径、铟合金化学计量比等参数对铟封残余应力的影响;优化了封接工艺参数,提高了封接强度及谐振腔真空铟封性能,使铟封接强度与真空气密性能满足氦氖激光陀螺仪长寿命的使用要求。 Electrode sealing of He-Ne laser gyro is one of the key technologies to maintain the vacuum environment of its glass-ceramic resonator. The characteristics of the classic indium sealing structure and the performance of the electrode indium sealing of the He-Ne laser gyro are analyzed. The physical and mathematical models of the indium sealing structure are established based on the theory of elasto-plastic mechanics. The residual stress of indium seal structure was numerically calculated and the residual stress variation of different properties parameters was obtained. The influence of indium wire ring diameter, indium alloy stoichiometry and other parameters on the residual stress of indium seal was analyzed. The parameters of the sealing process were optimized, The sealing strength and the cavity vacuum indium sealing performance, the indium sealing strength and vacuum tightness meet the requirements of the long life of the helium-neon laser gyro.
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