【摘 要】
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TiO2薄膜具有良好的电学性能,优异的光学性能,化学稳定性高,机械强度高,长期以来受到人们的关注,已经广泛应用在电子、光学、医学等方面。本文简单介绍了TiO2薄膜的制备方法
【机 构】
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大连理工大学三束实验室,辽宁工程技术大学材料系,大连理工大学三束实验室 辽宁 大连 116024 ,辽宁工程技术大学材料系,辽宁 阜新 123000 ,辽宁 阜新 123000 ,辽宁 大连 1160
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TiO2薄膜具有良好的电学性能,优异的光学性能,化学稳定性高,机械强度高,长期以来受到人们的关注,已经广泛应用在电子、光学、医学等方面。本文简单介绍了TiO2薄膜的制备方法及应用。
TiO2 film has good electrical properties, excellent optical properties, high chemical stability, high mechanical strength, has long been people’s attention, has been widely used in electronics, optics, medicine and so on. This article briefly introduced the preparation of TiO2 film and its application.
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