【摘 要】
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众所周知,油扩散泵有许多优点,是真空技术中应用量大面广的设备之一,因此,世界各国都在不断地努力探索扩散泵的理论1)、2),改进扩散泵的结构,提高扩散泵的性能。近年来,我国
【机 构】
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东北工学院真空教研室,东北工学院真空教研室
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众所周知,油扩散泵有许多优点,是真空技术中应用量大面广的设备之一,因此,世界各国都在不断地努力探索扩散泵的理论1)、2),改进扩散泵的结构,提高扩散泵的性能。近年来,我国真空技术工作者也在勤勤恳恳地做改进扩散泵性能方面的工作。但是,就目前情况看,我国的油扩散泵产品式样
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