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研究了金刚石薄膜在ＷＣ－６％Ｃｏ硬质合金、金属Ｗ和单晶Ｓｉ片上的成核特点。实验结果表明，金刚石薄膜在上述衬底材料上的成核特点和成核机制不同。用于衬底研磨预处理的金刚石微粉粒度对金刚石在单晶Ｓｉ片上的成核密度有较大的影响，而对在ＷＣ－６％Ｃｏ硬质合金和金属Ｗ上的成核密度没有太大影响。
不同衬底材料上金刚石薄膜成核特点的研究
【摘 要】
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研究了金刚石薄膜在ＷＣ－６％Ｃｏ硬质合金、金属Ｗ和单晶Ｓｉ片上的成核特点。实验结果表明，金刚石薄膜在上述衬底材料上的成核特点和成核机制不同。用于衬底研磨预处理的金刚石微粉粒度对金刚石
【机 构】
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吉林工业大学机械工程系,哈尔滨工业大学机械工程系
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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1999年3期
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