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氢化非晶硅（a—Si：H）薄膜在薄膜太阳能电池、薄膜晶体管在辐射探测和液晶显示等领域有着重要的应用，因而在世界范围内得到了广泛的关注和大量的研究。本文主要介绍了a—Si：H薄膜的主要掺杂类型和a—Si：H薄膜的主要制备方法。
非晶硅薄膜及其制备方法研究进展
【摘 要】
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氢化非晶硅（a—Si：H）薄膜在薄膜太阳能电池、薄膜晶体管在辐射探测和液晶显示等领域有着重要的应用，因而在世界范围内得到了广泛的关注和大量的研究。本文主要介绍了a—Si：H薄膜的
【机 构】
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圣睿太阳能科技（镇江）有限公司,蚌埠玻璃工业设计研究院,中国建筑材料科学研究总院
【出 处】
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中国玻璃
【发表日期】
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2012年2期
【基金项目】
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镇江市重大科技项目（CY200902）
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