硅扩展电阻温度传感器的试制

来源 :华南工学院学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:Rainbow820710
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1.一般介绍由于集成电路在控制系统中的应用日益增长,极大地刺激电子传感器的迅速发展.近年来电子敏感器件的研制进展非常迅速,半导体传感器便是其中一类相当引人注目的电子敏感器件.当前,有些半导体敏感器件已相当成熟,且进入了集成化,但有些仍为分立元件,不少元器件的性能不尽成熟,甚至不少领域仍未被开发.半导体扩展电阻温度传感器便 1. Introduction Since the application of integrated circuits in control systems is increasing day by day, it has greatly stimulated the rapid development of electronic sensors. In recent years, the development of electronic sensitive devices has progressed rapidly. Semiconductor sensors are one of the rather striking electronic sensitivities At present, some semiconductor sensitive devices have been quite mature, and have entered the integrated, but some are still discrete components, many components are not mature enough performance, and even many areas have not yet been developed. Semiconductor expansion resistance temperature sensor
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