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本文介绍一种新型集成压力传感器，它是利用集成电路技术和微机械加工技术相结合，交幸导体力敏电阻和双稳态触发器电路结合在一起、制作触发器型集成压力传感器，文章对该类传感器的工作原理，电路结构进行了理论分析，并对实验结果进行了讨论。
新型集成压力传感器的研究
【摘 要】
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本文介绍一种新型集成压力传感器，它是利用集成电路技术和微机械加工技术相结合，交幸导体力敏电阻和双稳态触发器电路结合在一起、制作触发器型集成压力传感器，文章对该类传感器
【机 构】
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天津大学电子工程系
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
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1996年6期
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