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讨论了一种具有Fabry-Perot结构的新型微机械光调制器,该光调制器由表面微机械工艺制备.理论分析表明,正弦信号、带直流偏置的正弦信号和方波对光调制器的驱动结果是完全不同的.测量结果表明,微机械光调制器有一系列的固有频率.对正弦信号、带直流偏置的正弦信号和方波信号的测量结果显示,调制器的响应是对驱动力中各频率成分的响应,和理论分析符合得非常好.