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随着微波等离子体的应用越来越广泛,其参数的测量研究也逐渐得到人们的重视.本文使用朗缪尔探针测量了微波等离子体的单探针I-V特性,并根据探针测量原理计算出等离子体空间电位、电子温度,电子密度和离子密度等参数.
微波等离子体的朗缪尔探针测量
【摘 要】
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随着微波等离子体的应用越来越广泛,其参数的测量研究也逐渐得到人们的重视.本文使用朗缪尔探针测量了微波等离子体的单探针I-V特性,并根据探针测量原理计算出等离子体空间电
【机 构】
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江苏科技大学张家港校区信息学院
【出 处】
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佳木斯大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2010年4期
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