【摘 要】
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离子辅助轰击能有效改善非晶碳 (a -C)膜的质量 .用脉冲激光 ( 5 32nm ,3.5× 10 8W cm2 )烧蚀石墨靶 ,同时用Ar+轰击膜面 ,在Si( 10 0 )衬底上沉积a -C膜 .用扫描电镜和喇曼
【机 构】
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湘潭大学物理系,湘潭大学物理系 湖南湘潭411105,湖南湘潭411105
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离子辅助轰击能有效改善非晶碳 (a -C)膜的质量 .用脉冲激光 ( 5 32nm ,3.5× 10 8W cm2 )烧蚀石墨靶 ,同时用Ar+轰击膜面 ,在Si( 10 0 )衬底上沉积a -C膜 .用扫描电镜和喇曼光谱对膜结构作了分析 .结果表明 :在较低气压和较高的射频功率下制备的a -C膜质量较好 ,同时 ,激光重复频率对膜生长也有显著影响
Ion-assisted bombardment can effectively improve the quality of the amorphous carbon (a-C) film.The graphite target was ablated by pulsed laser (532 nm, 3.5 × 10 8 W cm 2) and bombarded with Ar + The structure of a-C film was deposited on the bottom, and the structure of the film was analyzed by SEM and Raman spectroscopy.The results show that the quality of a-C film prepared at lower pressure and higher RF power is better, Frequency also has a significant effect on membrane growth
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