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此文主要阐述了通过热分解氯铂酸工艺对TiO2元件进行第二次铂催化能大幅度提高氧敏特性,并使元件呈现许多新特点。在总结实验的基础上,发展了肖特基势垒氧敏机制,较好地解释了实验现象。更多还原
Pt／TiO2氧敏元件工艺和氧敏机制的研究
【摘 要】
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此文主要阐述了通过热分解氯铂酸工艺对TiO2元件进行第二次铂催化能大幅度提高氧敏特性,并使元件呈现许多新特点。在总结实验的基础上,发展了肖特基势垒氧敏机制,较好地解释
【机 构】
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西安电子科技大学技术物理系,西安电子科技大学技术物理系西安交通大学姚熹教授博士生
【出 处】
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西安电子科技大学学报
【发表日期】
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1993年2期
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