【摘 要】
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近来,由于新材料开发的增进和真空装置的多样化,各种新材料都开始在真空方面使用。作为超高真空装置结构材料,也开始试用铝合金、离子镀膜,高真空材料也开始使用纤维强化塑料
【机 构】
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日本真空株式会社 ,日本真空株式会社
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近来,由于新材料开发的增进和真空装置的多样化,各种新材料都开始在真空方面使用。作为超高真空装置结构材料,也开始试用铝合金、离子镀膜,高真空材料也开始使用纤维强化塑料,为了提高真空装置的性能,作为高真空装置的材料,有效地利用了高分子材料及陶瓷之类的特点。 1. 前言
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