【摘 要】
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KrF excimer laser(248 nm)has high spatial uniformity by using induced spatial incoherence technology.After image relay and amplification by optical angular mult
【机 构】
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Department of Nuclear Technology Application,
【出 处】
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Annual Report of China Institute of Atomic Energy
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KrF excimer laser(248 nm)has high spatial uniformity by using induced spatial incoherence technology.After image relay and amplification by optical angular multiplexing technology,non-uniformity of image surface of focal spot is 1.6%.The spot spatial uniformity decreases with increasing distance of deviating image surface,the spatial non-uniformity is up to 5%at 3 mm place
KrF excimer laser (248 nm) has high spatial uniformity by using induced spatial incoherence technology. After image relay and amplification by optical angular multiplexing technology, non-uniformity of image surface of focal spot is 1.6%. The spot spatial uniformity decreases with increasing distance of deviating image surface, the spatial non-uniformity is up to 5% at 3 mm place
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