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【摘 要】
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介绍了基于粒子流运动连续方程建立的二维单基板彩色ＡＣ－ＰＤＰ放电单元的数值计算模型，该模型包括混合气体中的电子，离子，激发态分子等１５种基本粒子，描述了粒子的反应，迁移和扩散过程，通过模拟
【机 构】
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南京电子器件研究所
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1998年4期
其他文献
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