【摘 要】
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1.引言测量100bar 左右的压力通常用石英压电传感器完成。而砷化镓(GaAs)是一种半导体材料,具有做成砷化镓集成电路的优点。又由于这种材料具有高能带隙,因此适于做高温电路
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1.引言测量100bar 左右的压力通常用石英压电传感器完成。而砷化镓(GaAs)是一种半导体材料,具有做成砷化镓集成电路的优点。又由于这种材料具有高能带隙,因此适于做高温电路材料。本文介绍了砷化镓压电式压力传感器。
1. Introduction Measuring pressure around 100bar is usually done with a quartz piezoelectric sensor. And gallium arsenide (GaAs) is a semiconductor material, with the advantages of GaAs integrated circuits. And because of this material has a high energy band gap, it is suitable for high temperature circuit materials. This article describes a gallium arsenide piezoelectric pressure sensor.
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