钝化膜晶体管的电子辐照效应

• 作 者: 谢建华 林理彬 田景文 陈伯英 张兴常 唐方元 熊文树 林茂清
• 机 构: 四川大学物理系,四川大学物理系,四川大学物理系,四川大学物理系,星光半导体厂,成都720所,成都720所,成都720所
• 出 处: 核电子学与探测技术
• 发表日期: 1982年01期
• 关键词: 钝化膜 晶体管 晶体三极管 辐照效应 管子 单层 电子辐照 饱和电流 性能变化 电子束能量

本文介绍了Al_2O_3单层钝化膜及Al_2O_3-SiO_2双层钝化膜掩蔽下的外延PNP-3CK2型开关晶体三极管,在高能电子辐照下性能变化的情况,并与无膜管子的辐照情况作了对比。

This article describes the Al_2O_3 single passivation film and Al_2O_3-SiO_2 double passivation film under the mask of the epitaxial PNP-3CK2 type switching transistor performance changes in the high-energy electron beam irradiation, and without film tube irradiation Made a contrast.