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改进了扭转耦合型声马达的结构,超声换能器的为上接工艺以及超声驱动电路并进行了实验数据的分析,所设计的扭转耦合型超声马达的主要参数为:在输入电压为50V,频率为32.83kHz时,无载转速为160r/min,在1.5N.cm负载转矩下,转速为90r/min,此时马达的输入功率,输出功率分别为1.2W和0.14W。