光化学和半导体加工

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激光激励的光化学反应为半导体加工提供了新的工具。 尽管不是经常使用,但人们熟知激光可以激励某些化学反应已经超过15年了。但是,这些过程的经济意义仅仅有利于生产每克价值极高的昂贵的或难于生产的化学药品。除了某些大学正在进行旨在激励用非激光方法不能得到的某些反应的研究之外,在整个70年代后期在激光光化学方面只有罗斯阿拉莫斯和利弗莫尔实验室是重要的研究部门。它们的兴趣在于通过同位素分离发展精炼铀和钚的技术。 Laser-excited photochemical reactions provide new tools for semiconductor processing. Although not often used, it is well known that lasers can energize certain chemical reactions for more than 15 years. However, the economic significance of these processes is only conducive to the production of expensive or difficult-to-produce chemicals per gram. Except that some universities are conducting research aimed at stimulating certain reactions not available with non-laser methods, only the Los Alamos and Livermore laboratories are important research labs in laser photochemistry throughout the late 1970s . Their interest lies in the technology for the development of refined uranium and plutonium through isotope separation.
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