【摘 要】
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ＩＧＡ技术是纳米微米制造技术中，最有前途，最有生命力的方法，最近几年发展较快。本文对ＬＩＧＡ微制造技术做了较全面的介绍，并对光源、光刻胶、电铸、机械化学处理及掩模板的制作做了分析介绍
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ＩＧＡ技术是纳米微米制造技术中，最有前途，最有生命力的方法，最近几年发展较快。本文对ＬＩＧＡ微制造技术做了较全面的介绍，并对光源、光刻胶、电铸、机械化学处理及掩模板的制作做了分析介绍，指出在实践中存在的问题。
IGA technology is the most promising and most viable method for nanometer manufacturing technology, which has developed rapidly in recent years. In this paper, we introduce the LIGA micro-fabrication technology in detail, and introduce the fabrication of light source, photoresist, electroforming, mechanochemical treatment and reticle, and point out the problems in practice.
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