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采用直流磁控溅射方法在SiO2／Si衬底上制备出Pt/Ti和Pt／TiOx底电极。用XRD分析其晶相结构，用AFM测量其晶粒尺寸和表面粗糙度。结果表明，用TiOx层代替金属Ti层后，能有效地抑制在高温环境下Ti原子向Pt层扩散，使电极表面粗糙度减小（粗糙度为2．99nm）。
TiOx层在Pt／Ti电极中对Ti扩散的抑制作用
【摘 要】
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采用直流磁控溅射方法在SiO2／Si衬底上制备出Pt/Ti和Pt／TiOx底电极。用XRD分析其晶相结构，用AFM测量其晶粒尺寸和表面粗糙度。结果表明，用TiOx层代替金属Ti层后，能有效地抑制在高
【机 构】
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湖北大学物理学与电子技术学院
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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2006年3期
【基金项目】
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湖北省自然科学基金资助项目（2003ABA066）
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