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在离子注入刚结束时，氮离子注入纯铁镀钛样品表面并没有氮化钛化合物的出现。经不同温度的真空退火后，样品表面形成了氮化钛化合物，从而引起样品表面颜色和硬度的变化。原因是退火引起注入离子的扩散和再分布，扩散中氨化钛化合物形成于样品的表面。
退火对氮离子注入F_e—T_i样品的性能影响
【摘 要】
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在离子注入刚结束时，氮离子注入纯铁镀钛样品表面并没有氮化钛化合物的出现。经不同温度的真空退火后，样品表面形成了氮化钛化合物，从而引起样品表面颜色和硬度的变化。原因是退
【机 构】
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中国科学院物理研究所,中央民族大学物理系
【出 处】
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中央民族大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1994年2期
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