【摘 要】
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采用细晶陶瓷基片,运用纯氧反应溅射技术,掺稀土金属的方法,制备的ZnO薄膜具有初期恢复时间短、响应和恢复时间快、灵敏度较高等气敏特性,特别适用于对司机酒后开车及公共场
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采用细晶陶瓷基片,运用纯氧反应溅射技术,掺稀土金属的方法,制备的ZnO薄膜具有初期恢复时间短、响应和恢复时间快、灵敏度较高等气敏特性,特别适用于对司机酒后开车及公共场所饮酒者的检查。
Using fine-grained ceramic substrate, pure oxygen reactive sputtering technology and rare earth-doped metal method, the prepared ZnO thin film has the advantages of short initial recovery time, fast response and recovery time, high sensitivity and other gas sensing properties, and is particularly suitable for chauffeur After driving and public drinkers check.
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