【摘 要】
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超光滑表面粗糙度测量一直为人们所关注。本文提出了一种对于任意反射率的样品表面粗糙度(包括完全透明样品)均可测量的方法,并解决了第二表面散射对测量值的影响。
Ultra-s
【机 构】
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中国科学院上海光机所,中国科学院上海光机所,
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超光滑表面粗糙度测量一直为人们所关注。本文提出了一种对于任意反射率的样品表面粗糙度(包括完全透明样品)均可测量的方法,并解决了第二表面散射对测量值的影响。
Ultra-smooth surface roughness measurement has been of concern. This paper presents a method that can be used to measure the surface roughness (including completely transparent samples) with arbitrary reflectivity, and solves the effect of the second surface scattering on the measured value.
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