论文部分内容阅读
随着集成电路的特征尺寸减小至深亚微米以下,互连延迟成为集成电路性能进一步提高的主要障碍.为解决互连延迟带来的危机,国际上已开发出以铜为互连材料,大马士革工艺为制造方法的铜互连工艺以取代亚微米时代的铝互连工艺.本文介绍了大马士革工艺中铜金属化以及阻挡层的研究现状.
化学镀铜在超大规模集成电路中的应用和发展
【摘 要】
：
随着集成电路的特征尺寸减小至深亚微米以下,互连延迟成为集成电路性能进一步提高的主要障碍.为解决互连延迟带来的危机,国际上已开发出以铜为互连材料,大马士革工艺为制造方法的铜互连工艺以取代亚微米时代的铝互连工艺.本文介绍了大马士革工艺中铜金属化以及阻挡层的研究现状.
【机 构】
：
清华大学材料科学与工程系(北京)
【出 处】
：
第五届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
：
2004年10期
其他文献
1问题 张建卫[陕西省宝鸡市陈仓区教育体育局教学研究室（721300）]2015年高考新课标理综I卷生物学试题，除了第32题有一个“年龄组成统计表”外，其他所有题目都无图表，近两年图表题
“为理解而教”最初是美国哈佛大学的教师研修课程。由于这一课程的开设不仅代表了一种新的教育理念和教师专业发展模式，而且是一种学习观的改变、教学观的改变、教学模式的改
【摘 要】新疆的家庭教育相对全国较落后，特别是一些穆斯林家庭，他们受到文化水平、宗教等因素的影响，有对幼儿的家庭教育不重视;将孩子寄宿在别人家;还有错误的思想和育儿观念等问题，而解决这些问题必须要靠社会、政府、幼儿园及家长的共同努力，密切配合，才能为孩子营造一个良好的充满爱的教育环境。 【关键词】家庭教育 宗教影响 科学的教育方法 一、家庭教育的内涵与作用 （一）家庭教育的内涵 家庭教育
原编者的话:中国著名作家郭沫若先生,最近在香港、在中共中央“五一”口号号召下,积极展开新政协会议活动。最近由美国归国途中遇难逝世之冯玉祥将军,于离美前,郭氏曾由港致
2011年2月27日，越南工贸部表示，2011年腰果出口前景令人乐观。预计在接下来的几年内，世界对腰果的需求将继续走高并保持稳定，年增长率将达4％，在2011年达42万t。
充分发挥学生主体作用，建立和谐的师生关系，通过多种途径让学生主动参与学习，可以提高小学数学教学成绩。要想提高小学生数学的学习成绩，仅仅凭靠老师一人之力是不行的，在教学过程中，充分发挥学生的主体作用是提高数学成绩的有效途径。教师尽力激发学生的求知欲望，促进他们探求解决问题的方法，发现和掌握解决问题的规律，提高解题的能力。这样能有效地培养学生的自学能力和创造能力，使学生成为学习的主人，同时又能充分发挥
计算机辅助教学具有图文、直观、声画于一体，能充分调动学生的多种感官参与学习，因而深受广大教师的青睐和学生的欢迎。然而如何恰当地使用多媒体，这也是一个值得关注的问题。在
湘北的炮声远了,鄂西的炮声远了,在我们想到潜行宵遁的敌人,想到我们追奔逐北的战士的时候,我们不禁要感到精神的激昂,热血的沸腾,望着眼不能见的前方对我们英勇的战士肃然起
艾芜说自己是“吃五四运动的奶长大的”。是的，他从创作伊始就得到鲁迅、郭沫若的亲切关怀，热情指导，影响延至终生。从三十年代开始创作，到九十年代逝世，整整六十多年，始终勇敢地拿