【摘 要】
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本文对TVS器件同批次反向击穿电压VBR和反向漏电流的影响因素进行了一一分析,其中影响反向击穿电压一致性的主要因素为硅片电阻率的一致性和杂质扩散源浓度的均匀性,影响反向
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本文对TVS器件同批次反向击穿电压VBR和反向漏电流的影响因素进行了一一分析,其中影响反向击穿电压一致性的主要因素为硅片电阻率的一致性和杂质扩散源浓度的均匀性,影响反向漏电流一致性的主要因素为芯片PN结台面的洁净度、平滑度和PN结保护措施.在对影响因素分析之后,提出了提高TVS器件同批次电参数一致性方案.
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