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介绍了温度对悬臂梁式RF-MEMS开关的影响。以南京电子器件研究所研制的悬臂梁式RF-MEMS开关为实验样品，常温下（25℃）先测定样品的驱动电压和射频特性，再将样品置于温度恒定的烘箱中热烘1h，取出后在常温条件下测定其机械形貌及电学性能。烘箱的温度从50℃变化到200℃，步进50℃。针对每个温度做一轮实验，最后将所得数据进行对比。实验结果表明，温度对于开关的射频性能影响极其微弱，但驱动电压对于温度却有较强的依赖性。分析认为，当温度变化时，悬臂梁结构的翘曲是影响驱动电压变化的主要因素。最后提出了几种可以提