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低温时,合金溅射的轰击诱发吉布斯偏析(bombardment-induced Gibbsian segregation)现象,是在1982年首次发现的.我们建立了包括质量效应、键合效应和轰击诱发吉布斯偏析效应的Monte Carlo(MC)模拟程序; 并对轰击诱发吉布斯偏析效应的两大特征(第一是表面成分梯度特征,第二是表面成分梯度的中间性特征)作了研究.通过精确的定量计算得到了被轰击合金表面的成分梯度、溅射角分布和溅射产额具有中间性特征,并对其形成的原因作了理论的解释.