材料表面改性的离子束技术与合金的择优溅射

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本文简要地介绍了几种用于材料表面改性的离子束技术及其所取得的成效,着重从离子与固体表面相互作用所引起的择优溅射、增强扩散与偏析的角度,讨论了发展离子束技术与研究离子与表面相互作用的基础研究之间的关系,强调了离子轰击诱发的吉布斯偏析在决定表面成分分布上的重要性。 This article briefly introduced several ion beam techniques for surface modification of materials and their effects, focusing on the preferred sputtering, enhanced diffusion and segregation caused by the interaction of ions with the solid surface, discussed the development of ion The relationship between beam technology and fundamental research on ion-surface interactions emphasizes the importance of ion bombardment-induced Gibbs segregation in determining the distribution of surface components.
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