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【摘 要】
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通过磁控溅射氧化铝锌陶瓷靶材的方法在玻璃基片上制备ZAO薄膜,研究了溅射电流、溅射气压、基片温度对ZAO膜电学及光学性能的影响,使用X射线衍射仪分析了薄膜相结构,使用台阶
【机 构】
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北京四方继保自动化股份有限公司
【出 处】
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材料保护
【发表日期】
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2014年S1期
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