【摘 要】
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The paper presents the comparison of the structures of the zirconium modified aluminide coatings deposited on pure nickel by the CVD and PVD methods. In the CVD
【机 构】
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DepartamentofMaterialsScience,FacultyofMicrosystemElectronicsandPhotonics
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The paper presents the comparison of the structures of the zirconium modified aluminide coatings deposited on pure nickel by the CVD and PVD methods. In the CVD process, zirconium was deposited from the ZrCl3 gas phase at the 1000°C. Zirconium thin l
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