最少变量数边界元提取三维VLSI互连电感与电阻

来源 :中国科学E辑:技术科学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luckybxr
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为得到高频复杂结构三维互连电感与电阻需求解电磁场涡流问题.提出一种三维涡流计算模型,在导体与无限大自由空间中利用矢量磁位表示其中的电磁场,得到间接边界积分方程,并利用边界元离散化技术进行求解.这种方法避免对导体体积区域进行离散;作为一种间接边界元方法,它具有最少的变量数;由于不对导体中的电流方向进行限制,可以计算互相垂直导体之间的互电感和互电阻.数值计算结果利用2-D解析解进行了验证;计算了互相垂直导体在不同频率和间距下的互电感和互电阻. In order to obtain the eddy current problem of three-dimensional interconnection inductance and resistance in high-frequency complex structures, a three-dimensional eddy current calculation model is proposed, in which the electromagnetic field is represented by vector magnetic bits in the conductor and infinite free space, and the indirect boundary integral equation is obtained. Using the boundary element discretization technique to solve this method to avoid the conductor volume region is discrete; as an indirect boundary element method, which has the least number of variables; because the current direction of the conductor is not limited, you can calculate the conductor perpendicular to each other Mutual inductance and mutual resistance between the two conductors are calculated.The numerical results are verified by using 2-D analytical solution.The mutual inductances and mutual resistances of conductors perpendicular to each other at different frequencies and pitches are calculated.
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