【摘 要】
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纳米氧化锌薄膜具有光电、压电、压敏和气敏等多种性质，使其在透明导体、发光元件、太阳能电池窗口、光波导器、单色场发射显示器、高频压电转换器、微传感器等方面具有广泛的
【机 构】
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黑龙江大学化学化工与材料学院功能材料室
【基金项目】
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教育部新世纪优秀人才支持计划,黑龙江省杰出青年基金,哈尔滨市青年科学基金（No.QL200415）和黑龙江省教育厅科技项目（No.11513074）资助.
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纳米氧化锌薄膜具有光电、压电、压敏和气敏等多种性质，使其在透明导体、发光元件、太阳能电池窗口、光波导器、单色场发射显示器、高频压电转换器、微传感器等方面具有广泛的用途。ZnO是研究最早、应用最广的半导体气敏材料之一，在适宜的温度下对多种气体具有很好的灵敏性。与金属氧化物气敏材料的另外两个系列SnO2和Fe2O3相比，
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