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建立一种基于刻线边缘轮廓特征求取刻线线宽和线宽粗糙度的测量方法。理想情况下，刻线线宽方向截面为矩形，面积为该矩形高度和宽度的乘积。实际测量中，沿刻线线宽方向截面为一多边形，认为该多边形面积S。和理想矩形面积S相等。利用Tsai给出的台阶高度算法计算刻线单扫描轮廓的高度以获得线宽截面高度日。刻线等效宽度阢可根据上述高度H和截面面积S，求出。线宽粗糙度定义为线宽变化的3倍标准偏差，因此线宽粗糙度也能用该方法求出。