【摘 要】
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Using lateral phase change random access memory (PCRAM) for demonstration,we report a self-aligned process to fabricate a metal electrode-quantum dot(QD)/nanowi
【机 构】
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Engineering Research Center for Semiconductor Integrated Technology, Institute of Semiconductors,Chi
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Using lateral phase change random access memory (PCRAM) for demonstration,we report a self-aligned process to fabricate a metal electrode-quantum dot(QD)/nanowire(NW)-metal electrode structure.Due to the good confinement and coupling between the Ge2Sb2 Te5 (GST) QD and the tungsten electrodes,the device shows a threshold current and voltage as small as 2.50μA and 1.08 V,respectively.Our process is highlighted with good controllability and repeatability with 100％ yield,making it a promising fabrication process for nanoelectronics.
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