【摘 要】
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在传感器制作中,微细加工技术是一种越来越重要的技术,而且具有巨大的潜力。 硅片的出现,表明我们已经具有比以前更好的数据处理硬件。用非常精确的化学处理工艺来加工芯片
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在传感器制作中,微细加工技术是一种越来越重要的技术,而且具有巨大的潜力。 硅片的出现,表明我们已经具有比以前更好的数据处理硬件。用非常精确的化学处理工艺来加工芯片的方法也可应用到其它领域。采用这种工艺可在衬底上加工出非常细
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