Physical Sputtering of Target Atoms From Solid Surface Under Verious Proj

来源 :ANNUAL REPORT FOR CHINA INSTITUTE OF ATOMIC ENERGY | 被引量 : 0次 | 上传用户：cyuch

【摘要】

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３．２６ＰｈｙｓｉｃａｌＳｐｕｔｔｅｒｉｎｇｏｆＴａｒｐｅｔＡｔｏｍｓＦｒｏｍＳｏｌｉｄＳｕｒｆａｃｅＵｎｄｅｒＶｅｒｉｏｕｓＰｒｏｊｅｃｔｉｌｅｓＹｕＨｏｎｇｗｅｉ；ＹａｏＪｉｎｚｈａｎｇＦｕｓｉｏｎｐｌａｓｍａｃｏｎｓｉｓｔｓｏｆｍａｎｙｐａｒｔ... 3.26PhysicalSputteringofTarpetAtomsFromSolidSurfaceUnderVeriousProjectilesYuHongwei; YaoJinzhangFusionplasmaconsistsofmanypar

【出处】

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ANNUAL REPORT FOR CHINA INSTITUTE OF ATOMIC ENERGY

【发表日期】

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1994年00期

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