SIMOX掩埋氧化物中与时间相关的电子和空穴陷阱

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Monalisacode

【摘要】

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ＳＩＭＯＸ掩埋氧化物中与时间相关的电子和空穴陷阱＝Ｔｉｍｅ－ｄｅｐｅｎｄｅｎｔｈｏｌｅａｎｄｅｌｅｃｔｒｏｎｔｒａｐｐｉｎｇｅｆｆｅｃｔｉｎＳＩＭＯＸｂｕｒｉｅｄｏｘｉｄｅｓ［刊，英］／Ｂｏｅｓｃｈ．Ｈ．Ｅ．Ｊｒ…∥ＩＥＥＥＴｒａｎｓ．Ｎｕｃｌ．ｓｃ... Time dependent electron and hole traps in SIMOX buried oxide = Time-dependentholeandelectrontrappingeffectinS

【出处】

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微电子学

【发表日期】

：

1994年02期

【关键词】

：

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