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3自由度超声电机利用圆柱定子的3种同频共振模记（2个正交的弯曲摇摆振动和1个纵向振动），两两分别叠加，合成，通过摩擦驱动球转子分别绕3个轴旋转，根据这一原理可将该电机改装成多自由度直线电机，通过有限元方法设计定子的结构和模态，利用阻抗测试方法测得的定子共振频率，模态与设计相符，同时测量了球转子绕3个轴的转速特性，为了提高3自由度圆柱超声电机的定转子传动效率，对圆柱型定子锥形端面作了进一步优化设计。