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利用Ｘ射线衍射仪、电子探针研究了低温固体渗硼的渗层形貌、相组成和元素的再分布特征。结果表明，低温固体渗硼的硼化层是由ＦｅＢ、Ｆｅ２Ｂ、Ｆｅ３（Ｃ，Ｂ）、Ｆｅ３（Ｓｉ，Ｂ）等相组成。硼化层的前沿无过渡区，ＦｅＢ和Ｆｅ２Ｂ生长过程中排挤出来的碳和硅没有发生远程扩散，而是就近形成Ｆｅ３（Ｃ，Ｂ）和Ｆｅ３（Ｓｉ，Ｂ）等形式的含碳和硅的硼化物。