【摘 要】
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本文从实验和理论上对用粉末溅射研制的ＳｎＯ２／ＣｅＯ２酒敏薄膜的性能与膜厚、温度、掺杂量等进行了研究，并根据研究的结果和有关理论对平面薄膜型酒敏传感器的工艺和结构进行了设计；介绍了所
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本文从实验和理论上对用粉末溅射研制的ＳｎＯ２／ＣｅＯ２酒敏薄膜的性能与膜厚、温度、掺杂量等进行了研究，并根据研究的结果和有关理论对平面薄膜型酒敏传感器的工艺和结构进行了设计；介绍了所研制的器件的一些性能．
In this paper, the properties and film thickness, temperature, doping amount and so on of SnO2 / CeO2 thin films developed by powder sputtering were experimentally and theoretically studied. According to the research results and related theories, The design of the process and structure was introduced. Some properties of the device developed were introduced.
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