【摘 要】
：
氮化铝(AlN)因具备优良的理化性能,目前已被广泛应用于微电子及半导体器件的基板和封装领域中,同时在功率器件、深紫外LED及半导体衬底方面也具有广阔发展前景。AlN粉体作为A
【机 构】
：
有研科技集团有限公司稀土材料国家工程研究中心; 有研科技集团有限公司有研稀土新材料股份有限公司;
【基金项目】
：
国家重点研发计划资助项目(2016YFB0701003)
论文部分内容阅读
氮化铝(AlN)因具备优良的理化性能,目前已被广泛应用于微电子及半导体器件的基板和封装领域中,同时在功率器件、深紫外LED及半导体衬底方面也具有广阔发展前景。AlN粉体作为AlN产品的主要原料是决定其性能的关键因素。在对AlN的结构与性能综合分析基础上,系统介绍了当前AlN粉体制备技术的研究进展和应用现状,同时对各制备工艺的特点进行了分析探讨。指出在微米AlN粉体制备方面,碳热还原法和直接氮化法仍具有明显优势,而化学气相沉积法和等离子体法则在纳米AlN粉体制备方面具有良好的应用前景。获得更高纯度、粒度可控、形貌均匀分散的粉体是AlN制备技术的研究方向。
其他文献
众所周知，语言的三大要素是语音、词汇和语法。词汇是语言的基本材料，离开了词汇我们就无法表达思想，无法与人交流。如果我们将外语学习看作是一栋高楼，那么词汇就是构建高楼的砖
主位结构是语篇分析中的重要概念之一,即主位和述位的结合。本文以韩礼德的系统功能语法理论为基础,以邱吉尔的演说为例分析其主位结构,论述主位分析及主位推进模式在演说中
胚胎干细胞来源于哺乳动物囊胚内细胞团。它在体外培养条件下可以保持自我更新能力和多向分化潜能,是体外发育生物学研究的理想模型,并为再生治疗提供了细胞来源。对促进胚胎
随着我国对公共图书馆投入的增加,公共图书馆对投入资金的使用效果就成为新的关注点。如果能够对公共图书馆的价值或影响进行严谨的定量评估,无论是争取政府的财政拨款还是获
随着安然、世通等一系列美国公司财务舞弊与虚假信息披露案件的频发,美国国会于2002年颁布了《萨班斯-奥克斯利法案》,旨在强化对上市公司的市场监管,保护投资者利益。其中,
在近代刑事诉讼发展史上,日本从卷证移送主义转向了起诉书一本主义。在排除预断、防止偏见和构造庭审当事人主义两大预定目标上,日本起诉书一本主义的确发挥了作用,但作用有
西部大开发十多年来取得了显著的成就,但以往资源导向的传统工业化战略和依靠规模扩张带动经济增长的粗放型发展模式日益难以为继。进入战略转型阶段,西部地区在承接东部地区
汉语中补语系统是一个相当重要而复杂的结构系统，趋向补语一直以来是现代汉语语法研究中的重点，也是众多学者研究的热点，其他语言中很少有“补语”这一语法成分，趋向补语既有简单
非物质文化遗产是高职大学生思想政治教育的重要资源,将以非遗为代表的中国优秀传统文化融入高职思想政治教育内容体系,对创新高职思政教育有着积极的推动作用。本文着手研究