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提出一种新型载药微针结构设计方案，采用硅的各向异性刻蚀工艺与SU一8胶光刻工艺相结合的方法制备硅与光刻胶复合载药微针模具，将硅的各向异性刻蚀所得棱锥结构用于复制微针的尖端部分，SU-8胶曝光套刻出的带凸起结构的柱体用于复制微针的柱体部分，以此微结构为模具，通过2次聚二甲基硅氧烷（PDMS）浇铸复制而得PDMS凹三维结构．在此结构上，溅射金属种子层后采用小电流电铸技术电镀金属Ni，脱模得到载药金属微针．经力学性能测试，其断裂强度为366MPa，远大于刺穿皮肤所需断裂强度3．183MPa．