【摘 要】
：
本文对SiCl_4氢还原的复杂化学反应体系的平衡状态作了计算.给出体系在低压(P=0.1大气压、P=0.01大气压)和常压(P=1大气压),温度T从900K至1500K,及不同初始成分条件下的平衡
论文部分内容阅读
本文对SiCl_4氢还原的复杂化学反应体系的平衡状态作了计算.给出体系在低压(P=0.1大气压、P=0.01大气压)和常压(P=1大气压),温度T从900K至1500K,及不同初始成分条件下的平衡成分图、产率图、外延生长控制参数的阈值图,并提出了有关改进低压硅外延工艺的参考性意见.
In this paper, the equilibrium state of the complex chemical reaction system of hydrogen reduction of SiCl 4 was calculated. The results show that under the conditions of low pressure (P = 0.1 atm, P = 0.01 atm) and atmospheric pressure (P = 1 atm) And the composition diagram of the equilibrium composition under different initial composition conditions, the yield diagram and the threshold graph of the epitaxial growth control parameters, and put forward the reference opinion for improving the low-voltage silicon epitaxial process.
其他文献
林业资源的保护肩负着优化生态环境和促进经济发展的双重使命。综述了我国林业状况的分析,实施科技兴林,不断提高林业建设的科技含量,可持续发展成为促进林业发展的关键。
T
六个初出茅庐、心比天高的少年;一对彼此好感却一波三折的情侣;一场证明着尊严和爱情但又状况百出的激烈比赛,青春励志电影《乐火男孩》穿着3D的外衣、踏着歌舞向我们一一
S
当第76届奥斯卡金像奖的提名于2004年1月27日宣布时,最感到惊喜的莫过于新西兰的一位13岁小女孩了。凯萨·卡斯特·休伊斯正在奥克兰的家中熟睡之际,妈妈叫醒她并告诉她这个
本文以华南地区海滨城市的大学校园绿化建设为研究对象。通过理论研究与实际案例,分析发展规律,总结营造经验,提出校园绿化建设原则与内容,阐述华南地区海滨城市大学校园绿化
陈德明《梦回金沙城》总导演1987年毕业于北京电影学院美术设计系毕业后从电影美术指导做起,后投身于广告影视业在深圳成立影视广告公司2004年开始拍摄动画电影《梦回金沙城
初中政治知识,往往过于抽象和理论化,我在实际教学中发现,一旦呼唤起学生的主体意识,并加以积极引导,不仅能让课堂真正“活”起来,而且由于学生的积极参与与深入体验,反而对
小萱姐姐:我叫丽丽,今年上七年级。最近我心里特别纠结,白天上课老走神,连着两次考试都不如意,请小萱姐姐帮帮我。我原本有个非常要好的朋友,她叫小晴。我俩打小就是同学,家
清华大学基础课教学研究部化学教研组液晶化学科研组研制成功新型液晶材料-苯基环己烷类液晶和TPC-12混合液晶,于1979年11月通过了鉴定。 苯基环己烧类液晶是近两年在国外新
我们在试制3DD101管的过程中,摸索出一种选择发射区磷扩散工艺条件的新方法。只要根据基区硼扩散后实测的方块电阻和结深计算出磷预淀积的通源时间和磷主扩散时间就能得到满
1胰岛素合成课题的提出充分体现了敢想敢干和力争创新的精神胰岛素课题的提出是在50年代末60年代初。党号召我们向科学进军,大家都怀着革命激情,大干快上希望能在尽可能短的