用等离子体浸没离子注入制作亚100nmP^＋／N结

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yan983524

【摘要】

：

采用等离子体浸没离子注入（PⅢ）技术,通过SiF4预非晶化后进行BF3掺杂制作了亚100nmP+/n结。这种方法的掺杂率可高达1016/cm

【作者】

：

Qian XY 孙洪涛

【出处】

：

微细加工技术

【发表日期】

：

1991年4期

【关键词】

：

等离子体浸没离子注入制作 P/N结

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用等离子体浸没离子注入（PⅢ）技术,通过SiF4预非晶化后进行BF3掺杂制作了亚100nmP+/n结。这种方法的掺杂率可高达1016/cm2·s。硅片浸没在SiF4或BF3等离

其他文献

不锈钢电阻对焊接头的抗点蚀性能研究

本文对瑞典产8种不锈钢(包括奥氏体不锈钢、超级奥氏体不锈钢、双相不锈钢和超级双相不锈钢)电阻对焊接头的抗点蚀性能进行了研究。发现双相不锈钢的抗点蚀性能与对应母材相

期刊

电阻对焊不锈钢点蚀butt resistance weldingstainless steelpitting corrosion

国外技术创新的知识产权保护制度比较研究

技术创新已经成为推动经济高效增长的源泉,是科学技术转化现实生产力的主要形式。知识产权制度是保护技术创新的重要手段,通过研究发达国家先进的技术创新知识产权保护制度,

期刊

技术创新知识产权保护制度

H08Mn2SiA钢加工硬化及再结晶特性

随着工业技术的不断进步，气体保护焊接工艺越来越多地受到重视和应用。本文对CO2气体保护焊丝品种中应用最广泛的H08Mn2SiA钢不同变形量的试样进行常规力学性能检验和显微硬度

期刊

气体保护焊丝用钢加工硬化退火再结晶H08MN2SIAsteel for CO2 welding workhardening recrystallizat

辽宁省社会志愿服务的分析评价

摘要:志愿服务是指任何人自愿贡献个人的时间和精力,在不为物质报酬的前提下,为推动人类社会的进步和社会福利事业的发展而提供服务的活动[1]。分析了辽宁省社会志愿服务的几种形态,从中总结出今后在发展社会志愿服务的过程中应该努力克服的问题和改进的方向。　　关键词:社会志愿服务;基本形态;存在问题　　中图分类号:C913.9文献标志码:A 文章编号:1002-2589(2010)21-0102-02　　　

期刊

社会志愿服务基本形态存在问题

论如何在音乐教学中展开“愉快教育”

2：1世纪,一个新的教学观念是以人为本,以人的发展为本,这种观念是以培养和发展学生主体性为主要目的的教学,通过学生主动学习来促进主体发展的一种教学思想和教学方法。如何尽

期刊

情感愉快教育创造力兴趣乐学

＋786m水平车场交岔点支护与施工工艺研究

清水营煤矿井田属弱-中等富水性，二煤顶底板岩层导水性好、富水性强，大巷交岔点施工难度较大，易变形破坏失稳，基于锚网索耦合支护设计思路，在工程地质条件综合分析和地质力学评估

期刊

巷道交岔点巷道支护联合支护施工工艺technology intersection of roadways roadway support combi

火力发电企业发展循环经济的思考与建议

火力发电仍然是中国主要发电方式,然而这种方式给我国经济社会持续发展带来了负面影响,发展循环经济是火力发电企业的必须选择。火力发电企业必须树立可持续发展的基本理念,

期刊

火力发电企业循环经济可持续发展

对西方经济学教学的几点建议

经济学作为一门致用的科学,在西方经济学的教学过程中,我们应该本着科学的态度,以＂传道、授业、解惑＂为宗旨,客观地对待我们所讲述的理论,在与其他流派的理论进行比较分析的同

期刊

西方经济学教学比较分析理论联系实际teaching of western economicscomparative analysistheory wi

铝合金直流点焊神经网络建模

采用三相次级整流点焊机和动态参数检测系统，研究了硬铝合金ＬＹ１２直流点焊焊接性；在大量工艺试验基础上，运用神经网络方法，构造了一种离散型人工神经网络点焊质量预测与评估模型。研究

期刊

铝合金点焊人工神经网络预测模型aluminum -alloy spot welding ANN prediction model

不锈钢／Ni基微晶粉材溶解扩散连接特性

使用自制Ni基微晶粉材,试验研究了0Cr18Ni9Nb不锈钢液膜溶解扩散焊界面组织与性能.研究发现,应用具有亚稳态组织的Ni基微晶粉材可实现0Cr18Ni9Nb不锈钢的溶解扩散连接.焊缝与

期刊

不锈钢液体薄膜界面结构扩散行为溶解扩散连接Ni基微晶粉材BondingMetallographic microstructureNickel all

用等离子体浸没离子注入制作亚100nmP^＋／N结

其他学术论文